FESTO氣源處理元件包括空氣減壓閥、過濾器、油霧器三大件。其中減壓閥可對氣源進行穩定，使氣源處于恒定狀態，可減少因氣源壓突變時對閥門或執行器等硬件的損傷。過濾器用于對氣源的清潔，可過濾壓縮空氣中的水分，避免水分隨氣體進入裝置。油霧器可對機體運動部件進行潤滑，可以對不方便加潤滑的部件進行潤滑，大大延長機體使用壽命。